Основы микроэлектроники

Установка вакуумно плазменного напыления. Для отработки технологи напыления пленочных элементов и схем на поликоровых и ситалловых подложках и серийного производства микросхем предназначена установка вакуумного напыления. В зависимости от того, какое покрытие нужно получить, изменяется и состав оборудования для напыления.